Eine stillstehende Scribing-, Dicing- oder Mikrobearbeitungsanlage hält alles auf, was ihr nachgelagert ist, und die Baugruppe, die das Angebot nennt, ist genau die, die niemand öffnen darf. Wir bearbeiten das System um die Optik herum: Quellenschnittstelle, Strahlweg, Tisch, Steuerung, Absaugung und Medien.
Eine Laseranlage auf Waferebene sind drei Maschinen in einem Rahmen. Da ist der Laser mit seinem optischen Zug, der auf den meisten Plattformen ein vom Hersteller versiegelt geliefertes Modul ist. Da ist ein Präzisionstisch mit eigener Messtechnik, Antrieben und Steuerung. Und da sind die Medien um beides: Absaugung, Kühlung, Druckluft, Vakuum, Netzkonditionierung und die Sicherheitskette, die das Ganze überhaupt freigibt.
Diese drei fallen unterschiedlich aus und gehören unterschiedlichen Eigentümern. Das versiegelte optische Modul gehört seinem Hersteller - bei Stealth-Dicing-Plattformen ist es ein von einem Dritten unter eigenen Patenten entwickeltes Laser- und Optikmodul, und nichts, was wir tun, öffnet es. Tisch, Steuerung, Medien und die Schnittstellen dazwischen sind gewöhnlicher Präzisionsmaschinenbau, und genau dort ist ein unabhängiges Serviceunternehmen nützlich.
Betreiber beschreiben eine Wirkung, keine Ursache, und das ist die richtige Richtung. Was wir hören:
Im Umfang: die Quellenschnittstelle mit ihrer Steuer- und Leistungselektronik, die Strahlführung außerhalb des versiegelten Moduls, der Scanner und seine Ansteuerelektronik, Tisch und Bewegungssystem mit Rückführung und Antrieben, die Maschinensteuerung und ihre Ein- und Ausgänge, Sicherheitskette und Verriegelungen, Absaugung und Filtration, Kühlung sowie die Medienschnittstellen.
Nicht im Umfang, und vor dem Angebot gesagt statt danach: Ein versiegeltes oder herstellereigenes optisches Modul wird nicht geöffnet. Es wird ersetzt oder an seinen Hersteller zurückgeleitet, und das schriftliche Angebot sagt, was von beidem. Die Prozessqualifizierung - ob die Anlage brauchbare Dies liefert - gehört der Fab und niemandem sonst.
Die Bewertung kommt zuerst und wird als Festpreis angeboten, bevor jemand anreist. Wir erfassen Maschine und Seriennummer, die Konfiguration im Istzustand statt im dokumentierten Zustand, was sich vor dem Auftreten des Symptoms geändert hat, und den Zustand der oben genannten Teilsysteme.
Zurück bekommen Sie einen schriftlichen Bericht: was gefunden wurde, was wir vorschlagen, was wir reparieren würden, was wir ersetzen würden, was wir weiterleiten würden, und die kaufmännischen Optionen dazu. Sie entscheiden. Nichts läuft auf eine mündliche Zusage hin.
Genug, um Ihnen ordentlich zu antworten, und nichts, wofür die Maschine geöffnet werden müsste.
Wir versprechen keine bestimmte Reparatur vor der Diagnose, und wir bescheinigen keine Übereinstimmung mit den ursprünglich veröffentlichten Spezifikationen, wenn die ursprünglichen Abnahmedaten und die entsprechenden Normen nicht verfügbar sind.
PhaseX Laser Services ist ein eingetragener Handelsname von CoreX Robotics Services LLC und ein unabhängiges Serviceunternehmen. Wir sind kein autorisiertes Servicezentrum, kein Vertreter, kein Repräsentant und kein verbundenes Unternehmen eines auf dieser Seite genannten Herstellers, und wir führen keine Garantiearbeiten des Herstellers aus. Marken- und Modellnamen bezeichnen ausschließlich Anlagen und bleiben Eigentum der jeweiligen Inhaber. Arbeiten an Anlagen mit laufender Herstellergarantie werden ausschließlich in einem Umfang ausgeführt, den der Verkäufer der Anlage oder der Hersteller schriftlich freigegeben hat.
Ein herstellereigenes oder geschlossenes optisches Modul wird nicht geöffnet. Quellenschnittstelle, Kühlung, Bewegung, Steuerung, Sicherheit, Absaugung, Medien und Peripherie liegen im Umfang; das versiegelte Modul wird ersetzt oder an den Hersteller geleitet.
Die Arbeiten erfolgen nach den Regeln des Standorts und den in Ihrem Werk geltenden Laserschutzvorgaben. Den Laserschutzbeauftragten bestellt der Arbeitgeber, niemals PhaseX; Gefährdungsklassifizierung, Festlegung des nominellen Gefahrenbereichs und jede Konformitätsaussage bleiben bei Ihrem eigenen Beauftragten.
Nein. Bei Stealth-Dicing- und vergleichbaren Plattformen ist das Laser- und Optikmodul eine versiegelte Einheit, die ein Dritter unter eigenen Patenten baut, und wir öffnen sie nicht. Was wir tun: feststellen, ob das Modul tatsächlich das Problem ist, und alles ringsherum betreuen - Tisch, Antriebe, Steuerung, Sicherheitskette, Absaugung und Medien. Liegt es am Modul, sagen wir das, und es wird ersetzt oder an seinen Hersteller zurückgeleitet.
Das ist Ihre Entscheidung und Ihr Protokoll, nicht unser. Wir arbeiten nach den Zugangs-, Einkleidungs- und Qualifizierungsvorgaben des Werks, und wo die nicht erfüllbar sind, arbeiten wir an ausgebauten Baugruppen auf der Werkbank. Was wir nicht tun: eine Reinraumqualifizierung behaupten, die wir nicht haben.
Genau diese Frage soll eine unabhängige Bewertung beantworten. Wir bewerten die Maschine um die angebotene Baugruppe herum - Tisch, Steuerung, Medien, Allgemeinzustand - und geben Ihnen schriftlich unsere Einschätzung, was im Rest der Anlage noch steckt. Die Entscheidung bleibt Ihre, und wir haben kein Interesse an einem Ausgang in die eine oder andere Richtung.
Nein. Lithografie- und EUV-Plattformen stehen beim Service vollständig unter Herstellerkontrolle, und wir lehnen diese Arbeit ab, statt einen Leistungsumfang dafür zu dehnen.
Fünf Felder für den Anfang, und keine Verpflichtung auf beiden Seiten. Wir antworten mit einer Einschätzung und, wo Arbeiten vor Ort oder in der Werkstatt sinnvoll sind, mit einem schriftlichen Umfang und einer festen Pauschale zu Ihrer Freigabe.