Un outil de scribing, de découpe ou de micro-usinage à l’arrêt bloque tout ce qui se trouve en aval, et le sous-ensemble que désigne le devis est précisément celui que personne n’a le droit d’ouvrir. Nous traitons le système autour de l’optique : l’interface source, le trajet du faisceau, la platine, les commandes, l’aspiration et les utilités.
Un outil laser de niveau wafer, c’est trois machines qui partagent un bâti. Il y a le laser et son train optique, qui sur la plupart des plateformes est un module livré scellé par le constructeur. Il y a une platine de précision avec sa propre métrologie, ses motorisations et sa commande. Et il y a les utilités autour des deux : aspiration, refroidissement, air comprimé, vide, conditionnement d’alimentation et la chaîne de sécurité qui autorise l’ensemble à fonctionner.
Ces trois éléments tombent en panne différemment et appartiennent différemment. Le module optique scellé appartient à son fabricant : sur les plateformes de stealth dicing, c’est un module laser et optique développé par un tiers sous ses propres brevets, et rien de ce que nous faisons ne l’ouvre. La platine, les commandes, les utilités et les interfaces entre elles sont de la mécanique de précision ordinaire, et c’est là qu’une société de service indépendante est utile.
Les propriétaires décrivent un effet, pas une cause, et c’est le bon sens de marche. Ce qu’on nous dit :
Dans le périmètre : l’interface source avec son électronique de commande et de puissance, l’acheminement du faisceau en dehors du module scellé, le scanner et son électronique de pilotage, la platine et la cinématique avec leurs retours et motorisations, la commande machine et ses entrées-sorties, la chaîne de sécurité et les sécurités, l’aspiration et la filtration, le refroidissement, et les interfaces d’utilités.
Hors périmètre, et dit avant le devis plutôt qu’après : un module optique scellé ou propriétaire n’est pas ouvert. Il est remplacé, ou renvoyé à son fabricant, et la proposition écrite précise lequel. La qualification du procédé - savoir si l’outil produit des puces acceptables - appartient à la fab et à personne d’autre.
L’évaluation vient d’abord et elle est chiffrée au forfait avant tout déplacement. Nous relevons la machine et son numéro de série, la configuration telle que trouvée et non telle que documentée, ce qui a changé avant l’apparition du symptôme, et l’état des sous-systèmes énumérés ci-dessus.
Ce que vous recevez est un rapport écrit : ce qui a été constaté, ce que nous proposons, ce que nous réparerions, ce que nous remplacerions, ce que nous orienterions ailleurs, et les options commerciales associées. Vous décidez. Rien n’avance sur un accord verbal.
De quoi vous répondre correctement, et rien qui exige d’ouvrir la machine.
Nous ne promettons pas une réparation précise avant le diagnostic, et nous ne certifions pas un équipement conforme aux spécifications publiées d'origine lorsque les données de réception d'origine et les normes correspondantes ne sont pas disponibles.
PhaseX Laser Services est un nom commercial enregistré de CoreX Robotics Services LLC et une entreprise de service indépendante. Nous ne sommes ni un centre de service agréé, ni un agent, ni un représentant, ni un affilié d'aucun fabricant nommé sur cette page, et nous n'effectuons pas de travaux sous garantie du fabricant. Les noms de marques et de modèles servent uniquement à identifier les équipements et demeurent la propriété de leurs titulaires respectifs. Les travaux sur un équipement sous garantie active du fabricant ne sont exécutés que dans un périmètre autorisé par écrit par le vendeur de l'équipement ou le fabricant.
Un module optique propriétaire ou fermé n’est pas ouvert. L’interface source, le refroidissement, la cinématique, la commande, la sécurité, l’aspiration, les utilités et les périphériques sont dans le périmètre ; le module scellé est remplacé ou renvoyé au constructeur.
Les travaux sont réalisés selon les règles du site et les dispositions de sécurité laser en vigueur dans votre établissement. Le responsable sécurité laser est désigné par l’employeur, jamais par PhaseX ; la classification des risques, la détermination de la zone nominale de risque et tout avis de conformité restent du ressort de votre propre responsable.
Non. Sur les plateformes de stealth dicing et équivalentes, le module laser et optique est une unité scellée construite par un tiers sous ses propres brevets, et nous ne l’ouvrons pas. Ce que nous faisons, c’est établir si le module est réellement le problème, et entretenir tout ce qui l’entoure : la platine, les motorisations, la commande, la chaîne de sécurité, l’aspiration et les utilités. Si le module est en cause, nous le disons, et il est remplacé ou renvoyé à son fabricant.
C’est votre décision et votre protocole, pas le nôtre. Nous travaillons selon les règles d’accès, d’habillage et de qualification fixées par l’établissement, et lorsqu’elles ne peuvent être satisfaites, nous intervenons sur des sous-ensembles déposés sur banc. Ce que nous ne ferons pas, c’est revendiquer une qualification salle blanche que nous ne détenons pas.
C’est précisément la question à laquelle une évaluation indépendante sert à répondre. Nous évaluons la machine autour du sous-ensemble chiffré - la platine, les commandes, les utilités, l’état général - et nous vous donnons par écrit notre lecture de ce qu’il reste dans le reste de l’outil. La décision demeure la vôtre et nous n’avons aucun intérêt dans un sens ou dans l’autre.
Non. Les plateformes de lithographie et EUV sont sous contrôle total du constructeur pour le service, et nous refusons ce travail plutôt que d’étirer un périmètre pour le couvrir.
Cinq champs pour commencer, et aucune obligation de part ni d'autre. Nous répondons par une appréciation et, lorsque des travaux sur site ou en atelier ont du sens, par un périmètre écrit et un tarif fixe soumis à votre approbation.